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  • 대유량 기화
  • LSC-A100은 TEOS 600SCCM 및 H2O 2SLM 등의 안정적인 기화를 제공합니다.
  • 모든 디바이스 유지 관리는 디바이스 프런트엔드에서 수행 가능
  • LSC의 작동 상태를 모니터링하고 실행 로그를 기록 및 분석하는 휴대용 PDA 옵션
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